第72章 光源迭代 首页

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第72章 光源迭代(1/1)

星辰光刻光源实验室,午夜。

张工盯着监测屏上那条功率曲线,眼睛布满血丝。

"又掉了。"他把手里的记录本往桌上一拍,"连续运行四小时,功率从520瓦一路掉到487瓦。一掉电,镀膜层就开始烧损——这就是个死循环。"

光源组十几号人,围在监测屏前,一片沉默。

"张工,"一个年轻工程师低声问,"这个问题,真就无解了?"

"无解?"张工苦笑,"要是有解,我至于熬这第七个通宵?"

他指着屏幕上那根跳动的波纹:"LPP光源,用二氧化碳激光轰击锡滴产生等离子体。锡滴在激光下爆开,变成高温等离子体,发出极紫外光。原理不复杂,难就难在——锡滴炸开的时候,会有无数碎屑高速飞溅。"

"飞溅的锡屑粘到收集镜上,镜面一脏


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