且这次连带微电子所本身也来了好几位同志。

包括卓邵文与他的几位学生，包括沈永健自己带的学生。

新四车间内，众人静静看着沈永健与卓邵文以及两位大师傅检查所有的零配件。

偌大的车间极为安静，许多第一次见沈永健的技术员，当下甚至能听到自己的心跳和呼吸。

同时尽可能地平复着心情，知晓像今日这种机会难得，不敢打扰装配。

而防静电地板上的四人，穿着严密的无尘服，随着沈永健完成最后确认，便开始正式装配。

几人对于光刻机都是老行家，哪怕杜师傅是第一次参与装配，但通过这些年部分光刻机故障的维修经验，当下动作都行云流水，没有丝毫停顿。

“气浮导轨水平度微调完毕，直线电机定子锁紧。”

刘师傅盯着手中的高精度水平仪，声音透过口罩传出。

杜师傅负责硅片台的安装，这会儿扭矩扳手刚刚放下，配合着刘师傅对掩模台等设备的联通装配。

沈永健这会儿也加入了二人的组装工作，将才研制完成的激光干涉仪安装在关键位置。

由于零配件众多，且安装步骤极为复杂，每次安装到一定程度，还需要进行检验与修正，使得整个安装花费时间不少。

从上午八点到下午六点，中间一共短暂休息了四次，这台崭新的步进扫描光刻机才正式安装完成！