各层图案对齐良好，另外光刻机的机械精度达到预期。」

当徐铭以及贺鹏涛和丁顺安，等微电子装备科研人员，听完这番话后，原本悬著的心总算彻底放下，证明逐光国产极紫外光刻机主体研发成功。

标志著国内终于拥有了，百分之百国产化的，高端极紫外光刻机。

不过大家并没有在这个时候鼓掌庆祝，反倒是强压住心中激动，继续听后面的其他流片数据项目结果。